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सारांश

विवरण "Masqueur électronique", developped nearby 1970 by Jacques Trotel, Thomson-CSF. It was the first e-beam lithography instrument equiped with a laser interferometry.
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स्रोत Archives CAMECA
लेखक Jacques Trotel
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Cameca

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दिनांक/समयथंबनेलआकारसदस्यप्रतिक्रिया
वर्तमान10:38, 21 अप्रैल 200710:38, 21 अप्रैल 2007 के संस्करण का थंबनेल संस्करण1,234 × 1,582 (127 KB)EdC{{Information |Description="Masqueur électronique", developped nearby 1970 by Jacques Trotel, Thomson-CSF. It was the first e-beam lithography instrument equiped with a laser interferometry. |Source=Archives CAMECA |Date=1970 |A

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