"इलेक्ट्रॉन किरण अश्मलेखन": अवतरणों में अंतर
Content deleted Content added
पंक्ति 11:
इलेक्ट्रॉन किरण अश्मलेखन तंत्र को उनके किरण पुंज के आकार और पुंज के विक्षेपण या मोड़ने की शैली के अनुसार वर्गीकृत किया जाता है। पुराने तंत्रों में [[रेखापुंज|<span title="raster">रेखापुंज</span>]] प्रणाली का प्रयोग होता था, पर अब [[सदिश|<span title="vector">सदिश</span>]] पद्वति को अपनाया जा रहा है।
===इलेक्ट्रॉन स्रोत===
निम्न विभेदन तंत्रों में [[तापायनिक|<span title="thermionic">तापायनिक</span>]] स्रोतों का प्रयोग होता है। ये स्रोत LaB<sub>6</sub> से बनाये जाते हैं।
===Lenses===
| |||